Диего де Бенавидес получил образование в иезуитском колледже в Мадриде. Впоследствии он сражался в Арагоне и Португалии, в 1643 году после войн он стал генерал-капитаном. Также он находился на посту губернатора Галисии. В 1653 году Диего де Бенавидес был назначен вице-королём и генерал-капитаном Наварры.
В честь его дипломатических заслуг на переговорах в 1659 году по Пиренейскому миру и последовавшей свадьбы Марии Терезии и Людовика XIV испанский король Филипп V даровал Бенавидесу титул маркиза де Солера.
В 1661 году Бенавидес был назначен на пост вице-короля Перу, на своём посту он проявлял значительную заботу о коренном населении Перу, старался, чтобы они получали образование и облегчил им условия труда.
Пребывая в этой должности Бенавидес столкнулся также с последствиями землетрясений, а также с эпидемиями бушевавшими в колонии. Также он вынужден был подавлять восстание возникшее в результате вражды горно-добытчиков. В его правление была построена больница Сан-Бартоломе, а также первый театр в Лиме.
Скончался Диего де Бенавидес на своём посту 16 марта 1666 года в Лиме.
